Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/6345
Title: Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок
Authors: Хорошайло, Ю. Е.
Светличный, В. А.
Мулявка, О. В.
Сова, А. В.
Keywords: тонкая электропроводящая пленка
толщина и форма пленки
пористость структур
поверхностная плотность островков
Issue Date: 2017
Citation: Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В. А.Светличный, Ю. Е. Хорошайло, О. В. Мулявко, А. В. Сова. // Вісник Нац. техн. ун-ту "ХПІ" : зб. наук. пр. Сер. : Електроенергетика та перетворювальна техніка. – 2017. – №4. – С. 72–77.
Abstract: В результате изучения свойств и структуры тонких пленок, показано что свойства и структура тонких пленок значительно отличается от тех же параметров объемного материала. Физические процессы происходящие во время образования пленок обуславливают индивидуальную специфику свойств и структуры. Поэтому, одним из основных показателей качества металлических тонких пленок является отсутствие дефектов. В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/6345
Appears in Collections:Кафедра проектування та експлуатації електронних апаратів (ПЕЕА)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
vestnik_KhPI_2017_4_Svetlichnyy_Osobennosti.pdf689.68 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.