Публікація: Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок
Завантаження...
Дата
2017
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Анотація
В результате изучения свойств и структуры тонких пленок, показано что свойства и структура тонких пленок значительно отличается от тех же параметров объемного материала. Физические процессы происходящие во время образования пленок обуславливают индивидуальную специфику свойств и структуры. Поэтому, одним из основных показателей качества металлических тонких пленок является отсутствие дефектов. В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления
Опис
Ключові слова
тонкие электропроводящие пленки, пористость структур, теория дефектов
Бібліографічний опис
Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В. А.Светличный, Ю. Е. Хорошайло, О. В. Мулявко, А. В. Сова. // Вісник Нац. техн. ун-ту "ХПІ" : зб. наук. пр. Сер. : Електроенергетика та перетворювальна техніка. – 2017. – № 4. – С. 72–77.