Публікація:
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2014

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

ХНУРЕ

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок включає одночасне визначення електропровідності і товщини тонких плівок за допомогою електромагнітного випромінювання НВЧ діапазону. Визначення електропровідності і товщини здійснюють для тонких неферомагнітних плівок, причому для виміру електропровідності, необхідно як перетворювач використовувати циліндричний резонатор НВЧ, у якому вимірювальний отвір відповідає лінії тангенціального або нульового тангенціального струму, як реєстровану величину використовують потужність, що пройшла через резонатор.

Опис

Ключові слова

електропровідність, плівка, перетворювач, циліндричний резонатор НВЧ

Бібліографічний опис

Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок : пат. на корисну модель 93969 Україна / Хорошайло Ю. Є., Світличний В. А., Міняйло О. Д., Лямін Є. О. ; ХНУРЕ. – 2014

DOI

Колекції