Публікація: Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем
Завантаження...
Дата
2005
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЭ
Анотація
Робота присвячена класифікації технологій мікроелектромеханічних систем
Опис
Ключові слова
мікроелектромеханічны системи, нанотехнології
Бібліографічний опис
Невлюдов І. Ш. Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем / І. Ш. Невлюдов, В. М. Свищ, В. А. Палагін // сб. науч. тр. 2-го Международного радиоэлектронного форума «Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития», МРФ-2005, 19–23 сентября 2005 г. – Х. : ХНУРЭ, 2005. – Т. 1 – С. 111–114.