Публікація: Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков
Завантаження...
Дата
2013
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЭ
Анотація
Предложены принципы осуществления высоколокального СВЧ нагрева полупроводниковых материалов с целью их сканирующего перелегирования, оксидирования, отжига и других термических
модификаций, которые используются в микро- и нанотехнологиях. Показана возможность создания СВЧ ближнеполевого аппликатора на основе конусного коаксиального зонда. Проведены численные исследования пространственно-временного распределения температуры в области воздействия такого аппликатора в зависимости от электрофизических параметров полупроводникового
материала и конструктива зонда.
Опис
Ключові слова
СВЧ модификация, тепловыделение, конусный коаксиальный СВЧ зонд
Бібліографічний опис
Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, Д. А. Полетаев, А. М. Проказа, Н. И. Слипченко // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2013. – Т. 12, № 3 – С. 452–458.