Публікація:
Информационная технология мониторинга температурных полей в процессе выращивания монокристаллов

Немає доступних мініатюр

Дата

2014

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

Розроблено інформаційну технологію моніторингу температурного поля в процесі вирощування монокристалів напівпровідників, що включає комплекс математичних моделей і методів, систему взаємопов'язаних інформаційних процесів і комплекс технічних і програмних засобів. An information technology for monitoring the temperature field in the process of growing single crystals of semiconductors, including a complex of mathematical models and methods, a system of interrelated information processes and a set of technical and software tools was developed.

Опис

Ключові слова

информационная технология, мониторинг температурных полей, выращивание монокристаллов

Бібліографічний опис

Левыкин В. М., Шевченко И. В. Информационная технология мониторинга температурных полей в процессе выращивания монокристаллов // Вимірювальна та обчислювальна техніка в технологічних процесах. – 2014. – № 1 (46). – С. 133-138.

DOI