Публікація: Обработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопии
Немає доступних мініатюр
Файли
Дата
2011
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЭ
Анотація
Using of scanning probe microscopes for material analysis is the prospective area of modern microelectronics. In present work actual questions of scanning microwave microscope signal processing are considered. Микроволновая сканирующая микроскопия (МСМС) является прогрессивным инструментом для решения задач диагностики характеристик материалов микро- и наноэлектроники. Суть метода заключается в измерении интегральных характеристик СВЧ-резонатора, который имеет высокую чувствительность к параметрам исследуемого объекта, внесенного в активную зону резонатора.
Опис
Ключові слова
наноэлектроника, микроволновая микроскопия, СВЧ-резонатор, медтехника
Бібліографічний опис
Гордиенко, Ю. Е.Обработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопии / Ю. Е. Гордиенко // Функциональная база наноэлектроники : сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., 30 сент. – 3 окт. 2011 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2011. – С. 254–257.