Публікація:
Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2014

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

Вебер

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

В работе исследуются особенности нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предложен вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно- временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. The present paper concerns heating, annealing and redoping of semiconductor layered structures using a microwave radiator with a micron-sized aperture. We proposed a variant of such a modifier that is based on a conical coaxial waveguide. The study is focused on localization of heat and specific spatiotemporal distribution of temperature depending on the electrical and thermal parameters of the objects under study.

Опис

Ключові слова

СВЧ модификаторы, полупроводниковых тонкопленочных структур, сканирующие зондовые технологии

Бібліографічний опис

Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 763-764.

DOI