Модели и информационные технологии мониторинга и оптимизации процесса выращивания монокристаллов полупроводников

Левыкин, В. М.; Шевченко, И. В.; Оксанич, И. Г.

Публікація:
Модели и информационные технологии мониторинга и оптимизации процесса выращивания монокристаллов полупроводников

dc.contributor.author	Левыкин, В. М.
dc.contributor.author	Шевченко, И. В.
dc.contributor.author	Оксанич, И. Г.
dc.date.accessioned	2017-06-21T10:59:28Z
dc.date.available	2017-06-21T10:59:28Z
dc.date.issued	2014
dc.description.abstract	The monograph is the development of methods, models and information technologies for monitoring and optimization of thermal parameters of the process of cultivation of single crystals of semiconductors. The problem of continuous monitoring of the temperature fields of the melt-crystal system in the process of growing and the problem of automated optimization of the parameters of the thermal screen in the heat sink is solved. Designated for scientific and engineering staff, graduate students, and can be used by students of different specialties for acquiring knowledge and practical skills in solving problems of continuous quality management of technological processes.	uk_UA
dc.identifier.citation	Левыкин В. М., Шевченко И. В., Оксанич И. Г. Модели и информационные технологии мониторинга и оптимизации процесса выращивания монокристаллов полупроводников: монографія // Кременчук: Видавець ПП Щербатих О.В., 2014. – 216 с.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/3981
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.subject	монокристалл	uk_UA
dc.subject	управление качеством процесса выращивания	uk_UA
dc.subject	метод Чохральского	uk_UA
dc.subject	мониторинг температурных полей	uk_UA
dc.subject	информационные технологии оптимизации тепловых условий	uk_UA
dc.subject	температурный экран	uk_UA
dc.title	Модели и информационные технологии мониторинга и оптимизации процесса выращивания монокристаллов полупроводников	uk_UA
dc.type	Monograph	uk_UA
dspace.entity.type	Publication