Публікація: Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок
dc.contributor.author | Хорошайло, Ю. Е. | |
dc.contributor.author | Светличный, В. А. | |
dc.contributor.author | Мулявка, О. В. | |
dc.contributor.author | Сова, А. В. | |
dc.date.accessioned | 2018-06-25T10:35:37Z | |
dc.date.available | 2018-06-25T10:35:37Z | |
dc.date.issued | 2017 | |
dc.description.abstract | В результате изучения свойств и структуры тонких пленок, показано что свойства и структура тонких пленок значительно отличается от тех же параметров объемного материала. Физические процессы происходящие во время образования пленок обуславливают индивидуальную специфику свойств и структуры. Поэтому, одним из основных показателей качества металлических тонких пленок является отсутствие дефектов. В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления | uk_UA |
dc.identifier.citation | Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В. А.Светличный, Ю. Е. Хорошайло, О. В. Мулявко, А. В. Сова. // Вісник Нац. техн. ун-ту "ХПІ" : зб. наук. пр. Сер. : Електроенергетика та перетворювальна техніка. – 2017. – № 4. – С. 72–77. | uk_UA |
dc.identifier.uri | http://openarchive.nure.ua/handle/document/6345 | |
dc.language.iso | ru | uk_UA |
dc.subject | тонкие электропроводящие пленки | uk_UA |
dc.subject | пористость структур | uk_UA |
dc.subject | теория дефектов | |
dc.title | Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
dspace.entity.type | Publication |
Файли
Оригінальний пакет
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- vestnik_KhPI_2017_4_Svetlichnyy_Osobennosti.pdf
- Розмір:
- 689.68 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
Ліцензійний пакет
1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 9.42 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: