За технічних причин Електронний архів Харківського національного університету радіоелектроніки «ElAr КhNURE» працює тільки на перегляд. Про відновлення роботи у повному обсязі буде своєчасно повідомлено.
 

Публікація:
Метод и устройство измерения диаметра слитка GaAs в процессе выращивания методом с жидкостной герметизацией

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorОксанич, А. П.
dc.contributor.authorПритчин, С. Э.
dc.contributor.authorПетренко, В. Р.
dc.contributor.authorТербан, В. А.
dc.date.accessioned2016-05-30T15:18:01Z
dc.date.available2016-05-30T15:18:01Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractРазработан метод измерения диаметра слитка GaAs, выращиваемого по методу с жидкостной герметизацией, который основан на измерении веса слитка, учитывающий погрешности канала измерения веса и погрешности преобразования. Разработано устройство, реализующее данный метод. Достигнутая абсолютная погрешность измерения для слитков диаметром 100 мм составила ± 1,5 мм. A method for measuring the diameter of an ingot of GaAs grown by LEC method based on measuring the weight of the ingot taking into account the errors of a weight measurement channel and conversion errors is developed. A device is developed which implements the method.The achieved absolute error of measurement for ingots of a 100 mm diameter has constituted ± 1,5 mm.uk_UA
dc.identifier.citationМетод и устройство измерения диаметра слитка GaAs в процессе выращивания методом с жидкостной герметизацией / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, В. Р. Петренко, В. А. Тербан // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2012. – Т. 11, № 1. – С. 54–62.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/416
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЭuk_UA
dc.subjectметод Чохральского с жидкостной герметизациейuk_UA
dc.subjectарсенид галлияuk_UA
dc.subjectизмерение диаметраuk_UA
dc.subjectLiquid Encapsulated Czochralskiuk_UA
dc.subjectGaAsuk_UA
dc.subjectdiameter measurementuk_UA
dc.titleМетод и устройство измерения диаметра слитка GaAs в процессе выращивания методом с жидкостной герметизациейuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
9.pdf
Розмір:
1.53 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Прикладная радиоэлектроника