Высоколокальная сканирующая модификация полупроводников и диэлектриков

Гордиенко, Ю. Е.; Слипченко, Н. И.; Полетаев, Д. А.; Проказа, А. М.; Пятайкина, М. И.

Публікація:
Высоколокальная сканирующая модификация полупроводников и диэлектриков

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Слипченко, Н. И.
dc.contributor.author	Полетаев, Д. А.
dc.contributor.author	Проказа, А. М.
dc.contributor.author	Пятайкина, М. И.
dc.date.accessioned	2016-07-13T10:48:11Z
dc.date.available	2016-07-13T10:48:11Z
dc.date.issued	2013
dc.description.abstract	Предложены принципы осуществления высоко-локального сканирующего СВЧ нагрева полупроводников и диэлектриков с целью их модификации в различных микротехнологиях, включая микроэлектронные. В первую очередь, такой подход может оказаться перспективным для локального перелегирования и термического окисления кремния, локальной ре- кристаллизации и отжига различных материа-лов, в том числе, в пленочном конструктиве. Проведены численные исследования пространственно-временного распределения температуры в объекте под ближнеполевым СВЧ высоколокальным зондом с коаксиальной апертурой. Установлены основные количествен-ные зависимости указанного распределения от электрофизических параметров полупровод-никового объекта и конструктива СВЧ зонда. The present paper concerns the implementation principles for high local scanning UHF heating of semiconductors and dielectrics with the purpose of their modification in various microtechnologies, including microelectronic technologies. Numerical investigations of spatiotemporal temperature distribution in the object under near-field UHF high local probe with coaxial aperture have been carried out. Basic quantitative dependencies of the above distribution upon electrophysical parameters of semiconductor object and UHF probe structural element have been determined.	uk_UA
dc.identifier.citation	Высоколокальная сканирующая модификация полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 23-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2013), 8-13 сент. 2013 г. - Севастополь : Вебер, 2013. - Т. 2. - С. 726-727.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/1501
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Вебер	uk_UA
dc.subject	высоколокальный сканирующий СВЧ нагрев	uk_UA
dc.subject	сканирующая модификация полупроводников и диэлектриков	uk_UA
dc.subject	high local scanning UHF heating	uk_UA
dc.title	Высоколокальная сканирующая модификация полупроводников и диэлектриков	uk_UA
dc.type	Conference proceedings	uk_UA
dspace.entity.type	Publication